[SmartAuto 陳念舜 報導]
看好近年來台灣半導體、面板產業受到國際地緣政治影響，紛紛布局分散各地生產，或聚焦於開發次世代創新產品，對於供應鏈設備競爭也越來越激烈。在今（2022）年8月24~27日舉行的台北國際自動化工業大展，即可見到東佑達自動化公司在南港展覽館四樓L608攤位，透過甫於2021年成立的子公司「東佑達奈米系統」，發表最新研發重點產品，包括：超高速氣浮單軸平台 、精密線馬中空平台 、空氣軸承XY平台、XYZ空氣軸承微鑽孔機次系統等。

東佑達奈米系統公司副總經理鄧貴敦表示，其中「超高速氣浮單軸平台」屬於客製品，因為採用非接觸式空氣軸承氣浮驅動，移動時元件少了機構間的接觸，以空氣為介質的阻尼佳，而不會隨著時間推移造成振動、磨耗或性能下降，導致影響精度，在達到100mm/s高速下，速度漣波僅有0.1%。

同時克服研磨技術上的困難，可以實現高直線度、平面度達0.5μm/300mm；精密幾何效能，容易實現超高6個自由度（線性精度、水平/垂直直線度、自由度Yaw、Pitch、Roll）及軸與軸間的正交度±3 arc/sec

由於毋須使用潤滑油，可避免潤滑產生的汙染平台，使超高速氣浮單軸平台成為Class 1無塵室與醫療相關產業最佳選擇；馬達只須很小出力，重覆定位精度就達到±0.2μm/300mm，適用於Micro LED、半導體AOI、PCB檢測、自動化精密量測、雷射切割等精密量測製程對位。

另一款新品：「精密線馬中空平台」大中空台面，則可放入光源以及CCD鏡頭，適合用於AOI檢測相關需求。多尺寸設計，行程可選配100mm~300mm；直線度和平面度均為奈米級，可依需求選配不同解析度的編碼器，領先其他驅動方式的競爭產品。

為了持續擴大服務客戶，東佑達現還持續開發高品質高穩定性產品、提供高效率服務外，將更廣度的把完整產品陣容呈現給自動化使用者。機電與UI軟體複合性的整合，期待客戶可以透過統一的多樣化的東佑達產品選擇，達到控制便利性與採購的效率化。